PERFILOMETRO TRIDIMENSIONAL POR ABSORCIÓN OPTICA DE FLUIDOS
Esquema básico de funcionamiento del perfilómetro en una realización preferente
RESUMEN
El invento permite medir la topografía de superficies pertenecientes a un substrato (22) transparente o traslúcido que deja pasar luz a su través. Frente a la superficie de estudio (221) se acerca otra de diferencia (241) de la que se conoce su topografía. El espacio intermedio se rellena con fluido ópticamente absorbente (23) y se ilumina el conjunto con una fuente extensa (15) de la que se pueden diferenciar al menos dos bandas espectrales con absorción diferente en el fluido (23). El cociente de radiancias integradas en esas bandas espectrales no depende del punto de la fuente ni de la dirección de observación. El registro de imágenes (32) de la luz transmitida en esas bandas espectrales y su análisis posterior permite obtener el perfil completo de la superficie de estudio (221).
SECTOR DE LA TÉCNICA
La aplicación general de la invención es la medida de la topografía de cualquier superficie sobre substrato transparente o traslúcido en especial aplicada a todo tipo y forma de superficie óptica y dispositivos micro-ópticos, por complejos que sean en su forma y elevadas las pendientes que la conforman. Permite por tanto la perfilometría tridimensional de superficies.
INVENTORES
Juan Carlos Marínez Antón